Горизонтальное магнитроновое распылительное покрытие

Горизонтальное магнитровое распылительное покрытие - это важная конфигурация оборудования для осаждения из пара.

Его основная особенность заключается в том, что подложка (заготовка) размещена горизонтально в процессе покрытия.

Этот макет привносит уникальные характеристики и преимущества применения, что делает его незаменимым в определенных областях.

Осаждение многослойных композитных пленок на поверхности стекла, керамики и плоских продуктов;

Горизонтальное размещение субстрата

Это основная особенность. Подложка (такая как стеклянная пластина, кремниевая пластина, металлическая пластина, пластиковая лист и т. Д.) Расположен горизонтально на носитель (такой как лоток, рама) или транспортируется горизонтально через область покрытия конвейерным механизмом.

Непрерывное производство

Горизонтальные линии очень подходят для проектирования непрерывного или встроенного производства.

Субстраты могут быть последовательно загружены, отправлены в камеру распыления для покрытия, а затем отправлены и разгружены, достигая эффективных крупномасштабных операций сборки.

Легко интегрировать автоматизацию

Горизонтальное размещение и линейная макет очень удобны для интеграции автоматической загрузки/разгрузки роботов, транспортных систем (таких как ролики, цепные конвейеры, роботы), оборудование для обнаружения онлайн и т. Д. Для достижения высокопроизводительного производства.

Для плоских субстратов

Особенно хорошо обрабатывают плоские или слегка изогнутые субстраты (такие как архитектурное стекло, фотоэлектрическое стекло, плоские подложки дисплея, гибкие рулоны).

Небольшое влияние гравитации

Горизонтальное размещение делает направление гравитации, перпендикулярно поверхности субстрата.

Для частиц, которые могут генерироваться во время процесса распыления, влияние гравитационного седиментации на однородность пленкового слоя относительно невелико (по сравнению с вертикальным типом).

Удобная работа и обслуживание

Основное оборудование и компоненты, как правило, расположены на высотах, которые легко доступны для операторов, что облегчает эксплуатацию, мониторинг и техническое обслуживание.

Чрезвычайно высокая эффективность производства и мощность
Непрерывное производство:

Это самое большое преимущество горизонтальной линии. Субстрат может быть непрерывно вводим и вывод, а процесс распыления завершается во время непрерывного или пошагового движения субстрата, что особенно подходит для крупномасштабных, однократных или ограниченных потребностей в производстве разнообразия.

Отличная однородность с большим покрытием
Для плоских субстратов (особенно прямоугольных стеклянных пластин) можно достичь очень высокой однородности толщины пленки на большой площади путем тщательного проектирования целевой компоновки, распределения магнитного поля, скорости переноса субстрата и расстояния с целевым имут.

Отличная стабильность процесса и повторяемость
Высоко автоматизированные и непрерывные процессы уменьшают вмешательство человека и эксплуатационные ошибки

Стабильная скорость передачи и точное управление параметрами процесса (давление газа, питание, поток газа) обеспечивают стабильность процесса между партиями и в течение длительных периодов времени.

Отличная совместимость и гибкость субстрата
Разнообразные материалы: подходящие для различных плоских субстратов, таких как стекло, металлические листы, кремниевые пластины, керамика и специфические пластмассы.

Легко достичь многослойного осаждения пленки
Распоряжая целевые мишени различных материалов в последовательности на пути передачи и прохождения субстрата через эти мишени в последовательности, тонкие пленки нескольких материалов могут непрерывно осаждаться в одном процессе передачи, образуя сложную многослойную пленку (такие как многослойная пленка на основе серебряной основы и стеклянного стекла и стеклянную структуру тонких пленок).