1. вакуумная камера
Вакуумная камера является основной частью вакуумного покрытия. Его основная функция - создать вакуумную среду и поддерживать процесс покрытия в вакуумном состоянии. Вакуумная камера обычно изготовлена из материалов из нержавеющей стали или алюминиевого сплава, с высокой вакуумной уплотнением и коррозионной стойкостью.
2. Насосная система
Насосная система является одним из ключевых компонентов вакуумного покрытия. В основном он отвечает за извлечение газа в вакуумной камере, чтобы вакуумная степень достигла требуемой степени. Насосная система обычно состоит из молекулярных насосов, механических насосов и диффузионных насосов. Различные комбинации насосов могут достигать различных вакуумных градусов и скорости накачки.
3. Устройство зажима субстрата
Устройство зажима субстрата является еще одним важным компонентом вакуумного покрытия. Он используется для исправления материала субстрата, который должен быть покрыт и контролировать его положение и траекторию движения. Устройство зажима субстрата обычно состоит из вращающейся таблицы, механизма подъема и зажима подложки. Различные зажимы могут адаптироваться к субстратам разных форм и размеров.
4. Система отопления
Система отопления является необходимым компонентом в вакуумном покрытии. Он может нагреть подложку и материал покрытия, чтобы способствовать формированию покрытия и улучшения его качества. Система нагрева обычно реализуется с помощью проволоки сопротивления, электромагнитного нагрева, индукционного нагрева и других методов.
5. Источник покрытия
Источник покрытия является последним компонентом в вакуумном покрытии. Он используется для обеспечения материала, который необходимо покрыть, обычно включая металлы, керамику, кремниевые и другие материалы. Источник покрытия может нанести материал на подложке на электронный луч, испарение, распыление и другие методы для формирования требуемого покрытия.
Резюме: вакуумная машина-это устройство, используемое для изготовления высококачественных покрытий, в которых вакуумная камера, насосная система, зажимное устройство подложки, систему отопления и источник покрытия являются его основными компонентами. Эти компоненты работают вместе, чтобы завершить процесс подготовки покрытия.
