Технология нанесения покрытия с помощью высокочастотного-индукционного испарения обычно используется для покрытия гибких тонкопленочных материалов. Он очень эффективен, образует равномерные слои пленки и не образует капель. Он часто используется при производстве золотых и серебряных проводов и обычно называется высокочастотным оборудованием для нанесения вакуумного покрытия с индукционно-испарительной обмоткой.
Высокочастотный источник индукционного испарения размещает графитовый или керамический тигель, содержащий испаряемый материал, в центре высокочастотной спиральной катушки с водяным-охлаждением-. Под действием индукции магнитного поля в диапазоне высоких-частот испаряющийся материал генерирует сильные потери на вихревые токи и гистерезисные потери (для ферромагнитных материалов), вызывая нагрев материала до его испарения. Чем меньше объем пленочного материала, тем выше частота индукции. В крупномасштабном-оборудовании для непрерывного вакуумного алюминиевого покрытия стальных полос процесс испарения с-высокочастотным индукционным нагревом дает удовлетворительные результаты.
Особенности высокочастотных-источников индукционного испарения:
1) Высокая скорость испарения, примерно в 10 раз быстрее, чем у устойчивых источников испарения;
2) Равномерная и стабильная температура, менее подвержена разбрызгиванию;
3) Когда материал испарения металлический, он выделяет тепло;
4) Одноразовая-загрузка устраняет необходимость в механизме подачи, что упрощает контроль температуры и эксплуатацию.
Технология нанесения покрытия методом высокочастотного индукционного испарения — это тип покрытия методом испарения, и в зависимости от области применения используются различные методы нанесения покрытия методом испарения. Высокочастотное-оборудование для вакуумного нанесения валкового-индукционного испарения на-валки представляет собой в основном технологию нанесения покрытий и оборудование для подготовки тонкопленочных материалов с валков-на-роллинг.
