При ионном покрытии используется газовый разряд в условиях вакуума для ионизации газа или испаряемого материала. Под бомбардировкой ионов газа или ионов испаряющегося материала испаряемый материал или его реагенты осаждаются на заготовку. Сюда входит ионное осаждение методом магнетронного распыления, реактивное ионное осаждение, ионное осаждение с полым катодом (испарение с полым катодом) и многодуговое ионное осаждение (ионное осаждение с катодной дугой). Ионное покрытие сочетает в себе тлеющий разряд и плазменную технологию с вакуумным испарением, что значительно улучшает характеристики покрытия и расширяет область его применения. Помимо преимуществ вакуумного напыления, ионное покрытие обеспечивает прочную адгезию пленки, отличные дифракционные свойства и широкий спектр материалов покрытия.
Следовательно, в последние годы он пережил быстрое развитие как внутри страны, так и за рубежом. Основной принцип ионного осаждения заключается в ионизации паров металла или сплава с помощью тлеющего или дугового разряда инертного газа. Ионное покрытие включает нагрев, испарение и осаждение материала покрытия (например, TiN и TiC).
При прохождении атомов испаряемого материала покрытия через зону свечения небольшая часть ионизируется и под действием электрического поля летит в сторону заготовки, ударяя о поверхность с энергиями в несколько тысяч электронвольт. Они способны проникать в основу на глубину нескольких нанометров, значительно улучшая адгезию покрытия. Объединенные атомы испаренного материала осаждаются непосредственно на заготовке, образуя пленку. Распыление ионов инертного газа и ионов материала покрытия на поверхность заготовки также удаляет загрязнения, тем самым улучшая адгезию.
Технологии, используемые в машинах для нанесения ионно-вакуумного покрытия, машинах для нанесения покрытий методом испарения и машинах для нанесения покрытий магнетронным напылением, различаются. Эти принципы технологии нанесения покрытий также имеют свои преимущества. В зависимости от обрабатываемой детали и слоя пленки можно выбрать различные методы нанесения покрытия, чтобы удовлетворить рыночный спрос.
