Машина для оптического вакуумного нанесения покрытия состоит из вакуумной системы, системы испарения, системы охлаждения и электрической системы. Вакуумная система состоит из вакуумного бака и выхлопной системы. Вакуумный резервуар является основным корпусом машины для нанесения покрытия, и процесс нанесения покрытия завершается в вакуумном резервуаре. Вакуумный бак и выхлопная система соединены соединительным клапаном. Чтобы предотвратить влияние молекул воздуха на распыляемые ионы и улучшить качество слоя пленки, оптические компоненты и источник ионов во время работы необходимо помещать в вакуумную среду.
Выхлопная система в основном состоит из механического насоса, насоса Рутса и вакуумного насоса, который отвечает за откачку газа из вакуумного резервуара и формирование вакуумной среды в резервуаре. Система испарения в основном относится к устройству для формирования пленки. В машине для нанесения покрытия имеется множество типов пленкообразующих устройств, таких как резистивный нагрев, испарение электронной пушкой, магнетронное распыление, радиочастотное распыление, ионное напыление и т. д.
Машины для оптического вакуумного нанесения покрытия наносят тонкие пленки на оптические компоненты посредством вакуумного напыления, изменяя отражательную способность и пропускание падающего света. Чтобы минимизировать потери на отражение на поверхности компонента и улучшить качество изображения, часто наносят несколько слоев тонких пленок. После нанесения покрытия на оптический компонент свет несколько раз отражается и проходит по поверхности многослойной пленки, образуя множество интерференционных лучей. Контролируя толщину и показатель преломления слоев пленки, можно добиться изменения распределения интенсивности. Этот принцип можно использовать для производства поляризационных отражающих пленок, цветоразделительных пленок, пленок холодного света и интерференционных фильтров для удовлетворения более сложных потребностей.
