Машина для нанесения вакуумного покрытияв основном относится к типу покрытия, которое необходимо наносить в относительно высокой степени вакуума, включая множество типов, включая вакуумное ионное испарение, магнетронное распыление, молекулярно-лучевую эпитаксию MBE, осаждение лазерным напылением PLD и т. д. Основная идея состоит в том, чтобы разделить его на два типа: испарение и распыление.
В процессе градиентного окрашивания обычно используется оборудование для нанесения магнетронного распыления. В настоящее время в корпусах градиентных цветов многих моделей мобильных телефонов, таких как Huawei и Lenovo, используется процесс вакуумного градиентного покрытия PVD.
Магнетронное распыление — это разновидность физического осаждения из паровой фазы (Physical Vapor Deposition, PVD). Общий метод распыления можно использовать для подготовки металлов, полупроводников, изоляторов и других материалов, он имеет преимущества простого оборудования, легкого управления, большой площади покрытия и сильной адгезии.
Метод магнетронного распыления, разработанный в 1970-х годах, позволил достичь высокой скорости, низкой температуры и низкого уровня повреждений. Поскольку высокоскоростное распыление- выполняется при низком давлении, необходимо эффективно увеличить скорость ионизации газа. Магнетронное распыление создает магнитное поле на поверхности целевого катода и использует магнитное поле для удержания заряженных частиц с целью увеличения плотности плазмы и увеличения скорости распыления.
Вакуумная машина для нанесения магнетронного напыления является наиболее часто используемым оборудованием для нанесения покрытия на существующие изделия в условиях вакуума. Полная установка вакуумного нанесения магнетронного распыления состоит из нескольких частей системы. Каждая система может выполнять различные функции для достижения конечного-покрытия высокого качества. Компоненты покрытия магнетронным напылением включают вакуумную камеру, механический насос, вакуумную испытательную систему, масляный диффузионный насос, вакуумную систему, конденсационный насос, систему контроля образования пленки и т. д.
Основным корпусом машины для вакуумного нанесения магнетронного распыления является вакуумная камера. Размер вакуумной камеры определяется обрабатываемыми продуктами. Размер покрытия магнетронного напыления можно настроить по индивидуальному заказу. Камера обычно изготавливается из нержавеющей стали и должна быть прочной, долговечной и-не ржаветь. Вакуумная камера магнетронного напыления имеет множество соединительных клапанов для подключения различных вспомогательных насосов.
Система контроля образования пленки покрытия методом магнетронного напыления может использовать различные методы, такие как фиксированное время нанесения покрытия, визуальный контроль, экстремальный мониторинг и мониторинг вибрации кристалла. Машины для вакуумного нанесения покрытия и методы нанесения покрытия в машинах для вакуумного нанесения покрытия также делятся на различные процессы. Обычно используемые покрытия включают ионно-испарительное покрытие и магнетронное напыление. Слой пленки, нанесенный методом магнетронного распыления, обладает сильной адгезией и высокой чистотой и может одновременно распылять различные материалы различного состава.
