1. Радиочастота (РЧ) – источник энергии для PECVD.
Проще говоря, радиочастота (РЧ) является движущей силой PECVD; он определяет, можно ли генерировать плазму, насколько сильна генерация и насколько высока эффективность осаждения.
2. Тлеющий разряд-"выражение" плазмы
Тлеющий разряд — это явление видимого света, которое возникает естественным образом после возбуждения плазмы.
Когда газ ионизируется в плазму радиочастотным электрическим полем, электроны внутри него постоянно перескакивают между высокими и низкими энергетическими уровнями. Этот процесс высвобождает фотоны. Когда большое количество фотонов объединяются, они образуют свет, который мы видим через окно наблюдения, который называется свечением.
Свечение не является ни украшением, ни побочным продуктом; оно непосредственно отражает истинное состояние плазмы.
Различные газы, параметры и условия камеры приводят к изменению цвета, яркости и однородности свечения плазмы. Стабильное свечение указывает на исправность плазмы, а мерцающее или ненормальное свечение указывает на проблему с оборудованием или процессом.
Короче говоря, тлеющий разряд — это выражение и язык плазмы, который инженеры используют, чтобы судить о том, исправно ли оборудование и стабилен ли процесс.
Свечение может быть разных цветов.
Цвет свечения варьируется в зависимости от газа.
Неон (Ne): излучает классический красный-оранжевый свет (неоновый свет).
Аргон (Ar): излучает голубоватый-фиолетовый свет.
Азот (N2): излучает розоватый-фиолетовый свет.
Кислород (O2): излучает бледно-желтый или белый свет.
Пары натрия (Na): излучают очень яркий желтый свет.
2. Связь между радиочастотой и тлеющим разрядом
Радиочастота и тлеющий разряд не являются двумя независимыми вещами, а скорее имеют причинно-следственную связь, симбиотическую связь и связь мониторинга.
Радиочастота обеспечивает энергию и является причиной образования плазмы.
Тлеющий разряд сопровождает появление плазмы и является внешним проявлением плазмы.
Без радиочастоты нет плазмы и, следовательно, нет свечения.
Отсутствие устойчивого и равномерного свечения свидетельствует о плохой передаче радиочастотной энергии, неравномерном распределении электрического поля и ненормальном состоянии камеры.
3. Простейшее резюме
Радиочастота (РЧ) — это энергетическое ядро PECVD, отвечающее за генерацию и контроль плазмы.
Тлеющий разряд является выражением состояния плазмы и отвечает за стабильность процесса.
Если радиочастота стабильна, тлеющий разряд будет стабильным.
Стабильный тлеющий разряд обеспечивает стабильное качество пленки.
