Почему тонкая экстракция в вакуумной лакировочной машине происходит слишком медленно

Jun 01, 2026

Оставить сообщение

PVD coating equipment magnetron sputtering coating machine

 

Основные причины медленной прецизионной экстракции ввакуумная лакировочная машинаможно найти в следующих аспектах:


1. Диффузионный насос может быть недостаточным.
Решение: Подсоедините ионизационный датчик к входу диффузионного насоса, чтобы измерить производительность насоса. Наблюдайте за временем откачки и его пределами, затем сравните результаты.

 

2. Небольшая утечка в вакуумной системе.
Решение: Это требует тщательного обнаружения утечек, чтобы проверить, соответствует ли время выдержки в вакууме требуемому стандарту.
 

3. Корпус слишком грязный; грязный корпус приводит к большему выбросу воздуха.
Решение: Очистите корпус.
 

4. Недостаточный вакуум подложки; предельный вакуум механического насоса или механического насоса с насосом Рутса недостаточен.
Решение: используйте измеритель сопротивления, чтобы отдельно проверить опорный трубопровод.
 

Медленное давление даже без-нагрузки. Часто из-за утечек, неисправности насоса или закупорки трубопровода.
Нормальное давление без-нагрузки, но медленное давление после загрузки: обычно из-за вентиляции заготовки/инструмента или влажности сырья.
Частые колебания давления: Типичная точка утечки.
Медленное снижение давления, но не достижение стандарта: часто из-за вентиляции большой-площади или закупорки холодной ловушки.
 

Медленно откачивайте-без нагрузки → проверьте наличие утечек, замените масло вакуумного насоса, очистите холодную ловушку и фильтры.
Медленно откачивайте-в зависимости от рабочей нагрузки → высушите детали, увеличьте время предварительной-откачки, обожгите приспособления/приспособления.
Колеблющееся давление → Найдите места утечки, отремонтируйте вакуумные клапаны.
Медленно и равномерно откачивайте-откачку (без колебаний давления) → Устраните засоры, выполните полную прогрев камеры-для дегазации.

 

Ежедневная профилактика и регулярное обслуживание (для предотвращения рецидивов)

Ежедневно: проверяйте уровень масла в насосе, охлаждающую воду и давление источника воздуха; очистить пыль с поверхности уплотнителей дверей.

Еженедельно: Очистите первичный фильтр, проверьте холодную ловушку на наличие инея и при необходимости разморозьте.

Ежемесячно: Выборочная проверка срабатывания клапанов и герметизация трубопроводов; выполнить дегазацию и обжиг оснастки.

Ежеквартально/полу-ежегодно: замените масло вакуумного насоса во всем агрегате; произвести глубокую разборку и очистку хладоуловителя, перегородок и трубопроводов.

 

Стандартные рабочие процедуры: Убедитесь, что заготовки полностью высушены; свести к минимуму попадание в камеру-содержащих влагу или летучих материалов; не открывайте дверь без крайней необходимости.

Отправить запрос
Связаться с намиЕсли есть какие -либо вопросы

Вы можете связаться с нами по телефону, электронной почте или онлайн ниже. Наш специалист в ближайшее время свяжется с вами.

Свяжитесь сейчас!