Требования к рабочей среде вакуумного покрытия

Вакуумная машина для покрытия в основном относится к покрытию, которое необходимо выполнять при высоком вакууме, включая испарение ионов вакуума, магнетроновое распыление, эпитаксию молекулярного луча, лазерное осаждение лазерного распыления PLD и многие другие типы. Его основная идея разделена на испарение и разбросание.
Требования к рабочей среде для вакуумного покрытия:
Оборудование для вакуумного покрытия должно работать в вакуумных условиях, поэтому оборудование должно соответствовать требованиям вакуума для окружающей среды. Требования вакуума для окружающей среды, как правило, включают в себя требования вакуумного оборудования для лабораторной (или мастерской) температуры, воздуха и других твердых частиц в окружающей среде, а также требования к деталям или поверхностям в вакууме или вакууме.
Эти два аспекта тесно связаны. Окружающая среда напрямую влияет на нормальное использование вакуумного оборудования; Будь то вакуумная камера или детали, установленные в вакуумном оборудовании, являются чистыми, напрямую влияет на производительность оборудования. Если в воздухе много водяного пара и пыли, трудно достичь ожидаемой вакуумной степени, накачивая с масляным механическим насосом без очистки вакуумной камеры. Хорошо известно, что механические насосы, покрытые маслом, не должны качать газы, содержащие твердые частицы, которые коррозийны для металлов и реактивны на вакуумное масло. Водяной пар - это сгущаемый газ. Когда большое количество сгущаемого газа выкачивается, загрязнение нефти насоса будет более серьезным. Следовательно, окончательный вакуум насоса будет уменьшен, а насосные характеристики насоса будут нарушены.
Пыль в промышленных условиях характеризуется порошкообразными телами, безымянными глазами и пылью. Порошок представляет собой вещество в состоянии агрегации или дисперсии порошка или твердых частиц. Так называемый порошок относится к коллекции крошечных твердых частиц, а частицы относятся к крошечным веществам, которые можно подсчитать один за другим. Дым - это материальная система, в которой небольшие частицы твердого или жидкости существуют в плавающем состоянии в газе. Вещества в гранулярном состоянии, будь то твердое или жидкое, в совокупности называются частицами пыли. Стандарт чистоты воздуха определяется размером размера частиц пыли, тем самым настраивая оценку чистой комнаты. Это применимо не только к промышленным секторам с чистыми требованиями, но и к вакуумам для чистой среды.