Электронно-лучевое испарение заключается в помещении материала пленки в медный тигель с водяным охлаждением- и непосредственном использовании нагрева электронным лучом, чтобы заставить атомы или молекулы в материале пленки испаряться и покидать поверхность, а затем проникать на поверхность подложки и конденсироваться в пленку.
Электронно-лучевое испарение имеет более высокий термический КПД, более высокую плотность тока пучка, более высокую скорость испарения и более высокую чистоту пленки, чем обычное испарение при резистивном нагреве.
Приложения:
Оборудование для вакуумного нанесения покрытий с помощью электронно-лучевого испарения может покрывать различные пленочные системы с большим количеством слоев, таких как коротковолновые -пропускающие волны, длинноволновые-пропускающие пленки, анти-пленки, отражающие пленки, фильтрующие пленки, спектроскопические пленки, полосовые пленки, диэлектрические пленки, высоко-отражающие пленки, цветные светоотражающие пленки и т. д.
Он может обеспечить пленочное покрытие от 0 до 50 слоев пленки, а также может удовлетворить требования к покрытию таких продуктов, как автомобильные отражающие стекла, очки, оптические линзы, чашки для холодного света и т. д.
Он может покрывать различные пленочные системы с различными источниками испарения, электронными пушками, источниками ионов и измерителями толщины пленки, а также испарять металлы, оксиды, соединения и другие пленочные материалы с высокой -точкой плавления-.
Функции:
Машина для нанесения оптического покрытия оснащена измерителем толщины кварцевой пленки, а ПЛК и система сенсорного экрана объединены для автоматического управления всем рабочим процессом с превосходной эффективностью работы и повторяемостью качества продукции.
Подходит для использования производителями оптической отрасли и для крупномасштабного-промышленного производства.
Спецификация:
| Машина для оптического покрытия | |||||||
|
Модель |
СФ-800 |
СФ-1200 |
СФ-1400 |
СФ-1600 |
СФВ-1000 |
СФВ-1200 |
СФВ-1600 |
|
Размер камеры |
Φ800×1000ММ |
Φ1200×1400ММ |
Φ1400×1600ММ |
Φ1600×1800ММ |
Φ1000×1100ММ |
Φ1200×1400ММ |
Φ1600×1800ММ |
|
Вакуумная установка |
КТ500 Диффузионный насосный агрегат |
КТ630 Диффузионный насосный агрегат |
Двойной диффузионный насосный агрегат KT630 |
Двойной диффузионный насосный агрегат KT630 |
КТ500 Диффузионный насосный агрегат |
КТ630 Диффузионный насосный агрегат |
Двойной диффузионный насосный агрегат KT630 |
|
Система покрытия |
Источник испарения электронной пушки, специальный источник питания для вспомогательных ионов покрытия или источник ионов Холла |
||||||
|
Инфляционная система |
Контроллер давления |
||||||
|
Метод управления |
Ручной или полностью автоматический |
||||||
|
Система контроля толщины пленки |
Система контроля толщины кварцевой пленки |
||||||
|
Скорость откачки |
5×10-3Па﹤15мин |
||||||
|
Предельный вакуум |
3,0X10-4Па |
||||||
|
Примечание |
Вышеуказанные параметры оборудования предназначены только для справки и разработаны и настроены в соответствии с фактическими технологическими требованиями клиентов. |
||||||
горячая этикетка : оборудование для вакуумного покрытия электронно-лучевым испарением, Китай оборудование для вакуумного покрытия электронно-лучевым испарением производители, поставщики, завод
