Оборудование для вакуумного нанесения покрытийчасто сталкивается с непредвиденными ситуациями во время работы, такими как перебои с водой, отключение электроэнергии и утечки воздуха. Столкнувшись с такими ситуациями, операторы могут оказаться в растерянности и не знать, как с ними справиться. Ниже компания Puyuan Vacuum предоставит подробный аварийный план работы оборудования для вакуумного нанесения покрытий:
1. Оборудование для нанесения PVD-покрытия требует очистки после определенного периода эксплуатации.
После периода эксплуатации, обычно от 50 до 70 циклов печи, оборудование для нанесения PVD-покрытия требует очистки для удаления пыли из печи. Затем один раз запустите печь без нагрузки. Процедура включает в себя сначала вакуумирование печи до уровня вакуума выше 10⁻² Па, а затем нагрев при температуре, как правило, на 20 градусов выше нормальной рабочей температуры. Поддерживайте эту температуру на максимально возможном уровне в течение как минимум одного часа, затем дайте ей остыть естественным путем. Этот процесс поддерживает чистоту внутреннего пространства оборудования для вакуумного нанесения покрытия.
2. Замена газового баллона
Если необходимо заменить газовый баллон, используемый в оборудовании для вакуумного нанесения покрытия, снимите клапан регулирования давления и замените его новым баллоном. Убедитесь, что во время установки нет утечек. После замены цилиндра, перед нагревом заготовки, печь следует продуть в процессе вакуумирования, чтобы удалить весь воздух, попавший в трубопровод во время замены цилиндра, сохраняя продувочный трубопровод чистым.
3. Нанесите небольшое количество смазочного масла на вращающиеся детали.
Нанесите небольшое количество масла вакуумного насоса на вращающиеся части для смазки. Убедитесь, что вакуумный насос чистый, на нем нет железа, песка и пыли. Обеспечьте хороший контакт в системе позиционирования. Вакуумный насос должен вращаться легко, без неровностей и сильных засоров.
4. Внезапная утечка воздуха обнаружена во время нормальной работы.
Если во время нормальной работы обнаружена внезапная утечка воздуха и место утечки можно определить немедленно, его необходимо загерметизировать с помощью вакуумного герметика. Дальнейший ремонт возможен после завершения текущих работ. Если утечку обнаружить не удается, работы следует немедленно прекратить и провести ремонт.
5. Отключения воды и электроэнергии при высоких температурах.
Вакуумное оборудование наиболее уязвимо к воздействию воды и отключению электроэнергии при высоких температурах. Поэтому пользователям в идеале следует установить резервный резервуар для воды или подключить его к водопроводу во время установки оборудования. Если в оборудовании происходит отключение воды или электроэнергии при высоких температурах, все насосы и клапаны должны быть закрыты. Операторам следует немедленно подключить резервный источник воды или водопроводную воду для водяного-охлаждения оборудования. Если быстрое восстановление подачи электроэнергии невозможно, необходимо открыть ручной надувной клапан системы накачивания/сдувания, чтобы накачать оборудование в целях защиты, при этом давление накачивания должно составлять примерно -0,02 МПа. Затем переведите все кнопки на шкафу управления в положение «выключено». Одновременно приложите влажное полотенце к выходному интерфейсу электрода и регулярно заменяйте его, чтобы предотвратить перегрев интерфейса электрода и повреждение уплотнительного кольца.
Для инженера, работающего с оборудованием для вакуумного нанесения покрытий, крайне важно освоить планы реагирования на чрезвычайные ситуации. Во время работы могут возникнуть непредвиденные ситуации, и своевременное вмешательство имеет решающее значение для предотвращения ненужных потерь.
