
Принцип нанесения покрытия на вакуумные трубки в вакуумных лакировочных машинах заключается в том, что электроны, ускоренные по направлению к подложке под действием электрического поля, сталкиваются с атомами аргона, ионизируясь в большое количество ионов и электронов аргона. Затем электроны летят к подложке. Ионы аргона, ускоренные электрическим полем, бомбардируют материал мишени, распыляя большое количество атомов мишени, которые в качестве нейтральных атомов мишени (или молекул) осаждаются на подложку, образуя пленку. Вторичные электроны во время ускорения по направлению к подложке подвергаются воздействию силы Лоренца магнитного поля и удерживаются в плазменной области вблизи поверхности мишени. Эта область имеет высокую плотность плазмы, и вторичные электроны под действием магнитного поля движутся по кругу вокруг поверхности мишени.
Этот длинный путь движения включает непрерывные столкновения с атомами аргона, ионизирующиеся в большое количество ионов аргона, которые бомбардируют целевой материал. После многократных столкновений электроны постепенно теряют энергию, вырываются из силовых линий магнитного поля, удаляются от материала мишени и, наконец, осаждаются на подложку. Теперь, с добавлением мишени для магнетронного распыления средней-частоты, испаряющиеся молекулы пленки ускоряются и бомбардируются материалом мишени под действием электрического поля, распыляя большое количество атомов мишени.
Нейтральные атомы (или молекулы) мишени осаждаются на подложку с образованием пленки, которая решает проблему типов пленок, которые в прошлом не могли быть обработаны путем естественного испарения, например, при нанесении титанового покрытия, циркониевого покрытия и т. д.
В настоящее время в электронных лампах обычно используются алюминиево-азотные композитные пленки. Вся пленка состоит из трех слоев: внутреннего, среднего и внешнего, каждый со своей функцией. Внутренний слой представляет собой отражающий слой, основная функция которого заключается в предотвращении излучения тепла от горячей воды в трубке наружу.
Средний слой представляет собой поглощающий слой, основная функция которого заключается в поглощении энергии света и преобразовании ее в тепловую энергию.
Внешний слой представляет собой анти-отражающий слой, основная функция которого — уменьшение отражения солнечного света и увеличение скорости поглощения солнечного света.
