
(1) Экологические требования к вакуумному покрытию
Очистка поверхности подложки имеет решающее значение для процессов нанесения вакуумного покрытия. Перед попаданием в камеру нанесения покрытия подложка должна пройти тщательную пред-очистку от масла, грязи и воды.
Причиной загрязнения поверхности является различная пыль, смазочное масло, машинное масло, полировальная паста, жир, пот и т. д., налипающие на детали во время обработки, транспортировки и упаковки; оксидные пленки, образующиеся на поверхности деталей во влажном воздухе; и газы, поглощенные и адсорбированные поверхностью деталей. Эти загрязнения обычно можно удалить с помощью методов обезжиривания или химической очистки.
Очищенные поверхности следует хранить не в атмосфере, а в герметичных контейнерах или чистых шкафах, чтобы свести к минимуму загрязнение пылью. Хранение стеклянных подложек в свежеоксидированных алюминиевых контейнерах сводит к минимуму адсорбцию паров углеводородов, поскольку эти контейнеры преимущественно адсорбируют углеводороды. Очень нестабильные поверхности, чувствительные к водяному пару, обычно следует хранить в вакуумной сушильной печи. Поддержание высокого уровня чистоты и удаление пыли из камеры нанесения покрытия являются основополагающими экологическими требованиями к процессу нанесения покрытия.
В помещениях с высокой влажностью помимо тщательной очистки основания и всех компонентов внутри вакуумной камеры перед нанесением покрытия также необходимы прокаливание и дегазация. Чтобы предотвратить попадание масла в вакуумную камеру, необходимо обратить внимание на обратный ток масла из масляного диффузионного насоса; для диффузионных насосов с высокой тепловой мощностью необходимо предусмотреть меры-блокировки масла.
(2) Основные принципы нанесения покрытий и пленочных покрытий
А. Сырье и основные принципы: Сырье включает смолы, полимеры, тефлон, силикон, акриловую кислоту и силикаты, но вспомогательные материалы, составы и количества различаются. Например, количество добавленного эмульгатора повлияет на состояние эмульсии, в результате чего ее форма станет водянистой, молочной или пастообразной-. После эмульгирования и деэмульгации эти вещества частично проникают или образуют тонкую пленку.
Б. Характеристики и различия:
Покрытие: Хорошее проникновение (в зависимости от размера частиц сырья), превосходная гладкость поверхности, подходит для лакокрасочных покрытий европейских и американских автомобилей со множеством «капилляров», шероховатостей, перекраски или твердых поверхностей, требующих повышенного блеска.
Пленочное покрытие: к пленкообразующим продуктам-добавляются-вспомогательные средства для формирования пленки и отвердители, что обеспечивает мгновенное образование пленки и тем самым изменяет свойства покрытия.
Среда покрытия и слой покрытия, требуемыемашина для вакуумного нанесения покрытияявляются очень важными факторами. Если уровень вакуума недостаточно высок, условия нанесения покрытия не соблюдаются, и предел текучести будет далек от идеального значения.
