Рабочие шаги оптического покрытия включают несколько ссылок. Ниже приведены подробные операционные шаги:
1. Предварительная подготовка
Проверьте статус машины:
Проверьте, находится ли машина оптического покрытия в нормальном рабочем состоянии, включая то, являются ли источник питания, источник газа, система охлаждения и т. Д.
Удалите мусор внутри и вокруг машины, особенно остатки испарения, чтобы обеспечить чистую рабочую среду.
Подготовка материала:
Выберите высококачественные оптические линзы или другие материалы, которые необходимо покрыть.
Подготовьте испарительные материалы, такие как металлические цели, чтобы обеспечить чистоту и качество материалов соответствовать требованиям.
Подготовка оборудования:
Приготовьте необходимое оборудование для покрытия, такое как вакуумные датчики толщины пленки, вакуумные насосы и ионные источники.
Проверьте, является ли оборудование нетронутым, чтобы убедиться, что оно может работать нормально.
Подготовка окружающей среды:
Убедитесь, что камера покрытия плотно закрыта и утечки воздуха нет.
Приготовьте инструменты для очистки, такие как чистящая жидкость и деионизированная вода, а также шлифование, дезактивация и другие инструменты.
2. Предварительное лечение покрытия
Полировка:
Мелко отполируйте оптическую линзу для удаления крошечных депрессий и примесей на поверхности.
Уборка:
Используйте специальную чистящую жидкость и ультразвуковое чистящее оборудование для очистки оптической линзы, чтобы обеспечить чистоту поверхности.
После очистки промыть деионизированной водой для удаления остаточной чистящей жидкости.
Вакуумное отопление:
Поместите очищенную линзу в вакуумную камеру и нагрейте линзу электрическим нагревом.
Газовый адсорбированный на поверхности испаряется и накачивается, чтобы обеспечить чистоту среды покрытия.
3. Операция покрытия
Установить параметры процесса:
В соответствии с требованиями покрытия, установите соответствующие параметры процесса, такие как температура испарения, скорость испарения, степень вакуума и т. Д.
Процесс испарения:
Добавьте материал испарения в источник испарения, такой как вольфрамовый нить.
Включите источник испарения, выполните процесс испарения и выпустите активные атомы.
Осаждение фильма:
Используйте источники энергии, такие как ионные источники или электронные балки в вакуумной камере, чтобы отложить испаренные атомы или молекулы на поверхности линзы.
В процессе осаждения вакуумный манометр толщины пленки используется для мониторинга толщины пленки в режиме реального времени, чтобы обеспечить выполнение заранее определенных требований.
Вспомогательное отопление:
Во время процесса осаждения может потребоваться использование вспомогательной технологии нагрева, чтобы нагреть поверхность субстрата до температуры самообслуживания пленочного слоя, что способствует конденсации и затвердеванию слоя пленки.
4. Пост-покрытие лечения
Охлаждение:
Когда процесс покрытия завершен, отключите источники энергии, такие как источник испарения и источник иона.
Позвольте вакуумной камере охлаждать естественным образом до комнатной температуры или использовать принудительное охлаждение, чтобы ускорить процесс охлаждения.
Уберите заготовку:
После того, как давление воздуха в вакуумной камере возвращается к нормальному давлению, откройте дверь вакуумной камеры и выньте объектив с покрытием.
Очистка и проверка:
Очистите объектив с покрытием, чтобы удалить примеси, которые могут оставаться на поверхности.
Проверьте качество покрытия, включая толщину пленки, однородность, оптические характеристики и т. Д. Соответствие требованиям.
5. Техническое обслуживание и уход
Очистите реакционную камеру:
Регулярно очищайте внутреннюю часть реакционной камеры и компонентов, таких как нагревательная пластина, для удаления остаточных испарительных материалов и примесей.
Замена деталей:
Согласно использованию оборудования, регулярно заменяйте детали на тяжелый износ, например, источник испарения, источник ионов и т. Д.
Обслуживание:
Выполните всеобъемлющее техническое обслуживание оборудования, включая проверку, работают ли источник питания, источник газа, систему охлаждения и т. Д.
Регулярно калибровать и отлаживать оборудование, чтобы обеспечить точность и стабильность покрытия.
Вышеуказанное представляют собой основные рабочие шаги оптического покрытия. Оптические машины для покрытия разных моделей и спецификации могут иметь различные специфические операции. Следовательно, в фактическом процессе эксплуатации следует строго соблюдать руководство по оборудованию, и следует соблюдать соответствующие правила безопасности и эксплуатационные процедуры.
