Рабочий принцип многоакковой машины для покрытия

Многодочная машина для покрытия генерирует высокотемпературную плазму через множественные дуговые источники (4-16), испаряет металлический материал и откладывает ее на поверхности субстрата для достижения эффективного покрытия (однородность толщины пленки ± 5%). Его основная вакуумная камера разделена на камеру покрытия (вакуумная степень меньше или равна 10^-3pa) и камеру предварительной обработки. Первый обеспечивает среду с низкой техникой, а последний используется для очистки и полировки субстрата для улучшения адгезии. Ключевые параметры процесса включают мощность источника дуги (20-200А), температуру субстрата (100-300 градусов) и скорость осаждения (1-10 нм/с), которые необходимо динамически отрегулировать в соответствии с формой субстрата (например, сложные изогнутые поверхности) и материалом (металл/керамика). Он подходит для таких сцен, как оптическая линза против рефлекционной пленки и жесткое покрытие для инструментов.