Оборудование для вакуумного напыления магнетронного распыления

Основной принцип оборудования для вакуумного осаждения заключается в испарении или ионизации источника материала в вакуумной среде, а затем в возможности генерируемых атомов, молекул или ионов осаждаться на поверхности целевой подложки с образованием одной или нескольких тонких пленок.

Внутри герметичной камеры с высоким-вакуумом магнитное поле удерживает электроны для ионизации газообразного аргона, в результате чего ионы аргона бомбардируют металлическую или оксидную мишень, в результате чего атомы мишени распыляются и осаждаются на поверхность заготовки, установленной на вращающейся стойке камеры, образуя тем самым плотную наноразмерную тонкую пленку. Конфигурация с несколькими-мишенями обеспечивает совместное-напыление для изготовления одно-слойных и многослойных композитных пленок.

Особенности оборудования

Качество покрытия стабильное и однородное, с сильной адгезией.
Планетарный поворотный стол приводит в движение заготовки по всей камере, обеспечивая постоянную толщину пленки по всей партии и предотвращая отслаивание или отслаивание. Покрытия имеют высокую чистоту, и система может создавать пленки из оксидов металлов, сплавов и диэлектриков.

Поддерживает низкотемпературное-нанесение покрытий и обеспечивает широкую совместимость с материалами.
В стандартной комплектации оснащен низкотемпературным ионным-вспомогательным источником, позволяющим наносить покрытие при комнатной-температуре с минимальным повышением температуры заготовки, тем самым предотвращая деформацию, вызванную высокой температурой.

Гибкие возможности процесса, многоцелевое-совместное-напыление
Камера может быть сконфигурирована с несколькими магнетронными мишенями, что позволяет одновременно загружать различные материалы мишени.

Полностью автоматическое управление по замкнутому-контуру с помощью ПЛК обеспечивает простоту эксплуатации.

Вакуумная откачка, расход аргона, мощность распыления, скорость вращения поворотного стола и параметры источника ионов контролируются автоматически. Система оснащена сенсорным экраном и позволяет предварительно задавать несколько рецептов покрытия.

Вакуумные камеры, поддержка не-стандартной настройки

Простое обслуживание, стабильная вакуумная система

Смесители для ванных комнат, душевые кабины, футляры/ремешки для часов, оправы для очков, посуда, чехлы для мобильных телефонов, чехлы для ноутбуков. Подготовьте различные цветные декоративные пленки, пленки, защищающие от-отпечатков пальцев, и защитные-защитные пленки, устойчивые к коррозии.

Высокая плотность покрытия и чрезвычайно низкая пористость

Атомы, осажденные методом магнетронного распыления, обладают высокой энергией, что обеспечивает высокую подвижность поверхности и плотную упаковку.

Практически без пор-с минимальной пористостью

Устойчивость к коррозии и окислению значительно выше, чем у покрытий,-напыленных в вакууме.

Отличные результаты испытаний в соляном тумане; подходит для защиты-коррозионной и декоративной защиты сантехники, оборудования и наружных компонентов